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FS 系列是最新式的气动风囊泵，是IWAKI 在积累多年的经验和成果的基础上应用高度的专有技术开发而成的。 通过增加泵的冲程速度，减小了产品尺寸、降低了产品重量及制造成本。 FS 系列泵操作方便，液温范围大。 泵的心脏部采用通用R 型风囊，实现了高压吐出，确保了长寿命。 FS 系列可胜任各种艰巨任务： 从清洗液循环和CMP研磨液循环及化学液体的供给。
